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微小部分析套件(选购件)

用于微小异物的分析和微小区域的不良分析

通过切换准直器和样品观察装置可对更小区域进行分析的选购件。是微小异物分析、微小区域不良分析以及镀膜厚度检测的利器。



选购件应用示例:微小异物分析
图片:收集在滤纸上的0.1mm左右的sus粉
(扩展变焦开启,中心部位黄色的圆为ø0.3mm)
 


选购件应用示例:微小部位的镀膜厚度测定
图片:线宽约0.5mm的电镀端子
(扩展变焦开启,中心部位黄色的圆为ø0.3mm)

x射线照射直径最小为0.3mm
标准规格的x射线照射直径最小为1mm,安装此选购件后,可以将激发侧的x射线缩小至0.3mm。

放大样品图像时不会使图像质量变差
提高了样品观察图像的识别度,以便应对更小的样品。可切换至约为正常图像2.5倍的放大图像,放大后图像质量不会变差(扩展变焦)。

ø0.3、1、3、10mm 四级自动切换
安装此选购件后,照射直径可以在ø0.3、1、3、10mm 4个等级自动切换。 不仅支持微小部的分析,还支持ø10mm的大组成分析。

※照射直径为样品表面上的尺寸。

 

分析示例―附着在点心上的微小金属粉末(约ø0.1mm)

将ø.1mm左右的微小金属粉末附着在市售的点心上,分别用照射直径1mm和0.3mm进行了分析。照射直径为1mm 时,在金属粉末周围(点心)的散射线的影响下,整体上背景大幅上升,s/n变差,照射直径为0.3mm时,周围散射线的影响少,可以获得s/n较好的曲线。

两种分析均检测出了主要成分铜(cu)和锌(zn),与照射直径无关,可以断定这种金属粉末是黄铜,但照射直 径为0.3mm时,更能识别出铅(pb)的峰值,表明这种金属粉末是易削黄铜。如此,即使是存在于产生强烈散射 线的材质、如有机物上的微小样品,也可以使用照射直径0.3mm的准直器进行更高精度的分析。

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