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ito薄膜观察例
ito薄膜是大家熟悉的透明导电膜,随成膜的方法、膜厚、基底温度等成膜条件的不同,表面形状有所不同。比较膜厚120nm(左图)与450nm(右图)的ito薄膜时,发现随着膜厚的增加,每个晶粒亦随之变大。此外,清楚地观察到溅射成膜法所特有的晶粒-亚晶粒结构。
(青山学院大学理工学部化学科 重里先生 提供)
ito薄膜观察例
ito薄膜是大家熟悉的透明导电膜,随成膜的方法、膜厚、基底温度等成膜条件的不同,表面形状有所不同。比较膜厚120nm(左图)与450nm(右图)的ito薄膜时,发现随着膜厚的增加,每个晶粒亦随之变大。此外,清楚地观察到溅射成膜法所特有的晶粒-亚晶粒结构。
(青山学院大学理工学部化学科 重里先生 提供)