laminar type replica diffraction grating for soft x-ray region
afm刻线图
是一款适用于软x射线波段下的校正像差型凹面层状复制衍射光栅。通过离子刻蚀技术及全息曝光的工艺方法，可实际应用于像差校正型的平场多色仪上。
特点
- 低高次光（层状结构）
- 低杂散光（全息曝光法）
- 高分辨率（非球面波曝光法）
- 配合阵列型检测器，可直接作为分光器使用
标准品规格
| 类别 | 不等距曲线刻线型复制衍射光栅(注) |
|---|---|
| 基底材质 | 与bk-7相当 |
| 外形尺寸公差(mm) | ±0.2(w)×±0.2(h) |
| 中心厚度公差(mm) | ±0.5（ｔ） |
| 有效范围(mm) | 除周边5mm以外的所有区域 |
| 刻线数公差 | ±0.5% |
| 划痕 | 80-50(mil-o-13830a为准) |
- 注:光栅的刻线是在树脂上完成的。
- ※结露是造成光学特性显著劣化的重要原因，应避免结露。
标准品
| 型号 | 刻线数 | 波长 范围 |
检测器 长度 |
设计mount参数 | 外形尺寸 | 镀膜 | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| n | λ1~λ2 | l | r | α | r1' | β1 | r2' | β2 | ri' | βi | w×h×t | 材质 | |
| (条/mm) | (nm) | (mm) | (mm) | (deg.) | (mm) | (deg.) | (mm) | (deg.) | (mm) | (deg.) | (mm) | ||
| 30-001 | 2400 | 1~6 | 23.5 | 237.0 | 88.65 | 235.6 | 85.81 | 238.5 | 80.17 | 235.0 | 90.00 | 50×30×10 | au |
| 30-002 | 1200 | 5~20 | 25.3 | 237.0 | 87.00 | 236.7 | 83.04 | 241.1 | 77.07 | 235.0 | 90.00 | 50×30×10 | au |
| 30-003 | 2400 | 1~7 | 26.8 | 236.7 | 88.60 | 235.8 | 85.79 | 239.5 | 79.39 | 235.0 | 90.53 | 50×30×10 | au |
| 30-004 | 2400 | 0.6~4 | 19.4 | 236.8 | 88.65 | 233.9 | 86.64 | 235.8 | 81.94 | 233.5 | 90.00 | 50×30×10 | au |
| 30-005 | 1200 | 3.5~8.5 | 11.1 | 237.0 | 87.07 | 234.8 | 83.98 | 236.2 | 81.30 | 233.5 | 90.00 | 50×30×10 | ni |
| 30-006 | 300 | 20-80 | 25.3 | 237.0 | 87.00 | 236.7 | 83.04 | 241.1 | 77.07 | 235.0 | 90.00 | 50×30×10 | au |
| 30-007 | 120 | 50-200 | 25.3 | 237.0 | 87.00 | 236.7 | 83.04 | 241.1 | 77.07 | 235.0 | 90.00 | 50x30x10 | au |
| 30-008 | 1500 | 9-45 | 68.5 | 379.0 | 80.00 | 372.7 | 76.24 | 394.6 | 66.54 | 362.0 | 90.00 | 50x30x10 | au |
| 30-009 | 500 | 27-135 | 68.5 | 379.0 | 80.00 | 372.7 | 76.24 | 394.6 | 66.54 | 362.0 | 90.00 | 50x30x10 | au |
分光系统配置图
外形图
