holographic laminar gratings for vacuum ultraviolet region
图25 层状衍射光栅afm 图片
刻线数： 1200条/mm
刻线深度： 15nm
岛津采用离子刻蚀技术及全息曝光的工艺方法，加工出可适用于真空紫外及软x线领域使用的层状式衍射光栅。
此款光栅刻线的截面形状如上图所示，是矩形形状，是在合成石英的基底上直接刻线加工而成，特别适合斜入射
光源的要求。
概念图
图24 矩形衍射光栅刻线断面形状的概念图
检测例
holographic laminar gratings for vacuum ultraviolet region
图25 层状衍射光栅afm 图片
刻线数： 1200条/mm
刻线深度： 15nm
岛津采用离子刻蚀技术及全息曝光的工艺方法，加工出可适用于真空紫外及软x线领域使用的层状式衍射光栅。
此款光栅刻线的截面形状如上图所示，是矩形形状，是在合成石英的基底上直接刻线加工而成，特别适合斜入射
光源的要求。
图24 矩形衍射光栅刻线断面形状的概念图