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能量色散型x射线荧光光谱仪 edx-7200
丰富的应用案例
粉末（微粒·颗粒） — 岩石的定性与定量 —
粉末样品的分析是x射线荧光的典型应用。对样品加压成型或者直接将样品放入样品容器中即可进行分析。下图是进行了na～u定性定量分析的岩石标准物质应用例。即使没有标准样品，也可进行准确的定量分析。在真空环境下，轻元素也可实现高灵敏度检测。
岩石标准物质的峰谱图
液体·泥浆·乳状液 — 废油中的重元素 —
将液体样品放在底部附有聚酯膜的样品容器内即可进行分析。可对水溶液、有机溶剂、油中的添加成分和磨损金 属等进行检测·定量分析。可以检测出废油中ppm级的重元素。
异物·材质判定 — 树脂成型品上附着的异物 —
edx能够无损进行元素分析，因此可对食品、医药品、产品上附着或者混入的异物进行有效分析。通过样品的观 察装置和使用相应的准直器，可以轻松定位微小异物。
将照射直径缩小到与样品相符的大小时，可以有效降低周边材质对其的影响。根据结果进行准确的定量匹配，可以确定下图例中的材质为sus316。
样品外观
异物部位（红色）和正常部位（蓝色）的分析谱图叠加
催化剂残留 — 利用散射线校正进行分析 —
edx也适用于催化剂残留的检测。有机合成时，常用icp分析等对催化剂残留进行定量分析，但前处理操作等十分 繁琐，需要很长时间才能获得结果，而采用edx则可轻松进行定量。
下面介绍使用pd标准溶液制作的标准曲线对有机物（纤维素）中的pd进行定量的分析示例。使用散射线内标校正，不仅可校正水和纤维素的材质差异，而且在样品量很少的情况下，也能获得足量样品相同的定量结果。
— 磷的筛选分析 —
苯酚、异丙基磷酸（3:1）（pip（3:1））被广泛应用于以聚氯乙烯（pvc）和聚氨酯等树脂为代表的产品中，以使产品具有可塑性和阻燃性。另一方面，美国环境保护署（u.s.epa）的有毒物质控制法案（tsca）开始对含有 pip（3:1）的产品及成品的制造、加工与交易进行管控。edx可通过对含p化合物pip（3:1）中 p浓度的筛选分析，以满足上述管控要求。使用选购件真空检测单元，可进一步提高分析的灵敏度。
pip（3:1）的分子式
含pip（3:1）样品与空白的谱图叠加
※含pip（3:1）的类似样品，是指在石油醚中加入了pip（3:1）和氯化石蜡，使磷(p)浓度达到1000ppm的样品。
含pip（3:1）实际样品在真空/大气环境下测试的谱图叠加
— 无电解镍-磷镀层的膜厚·组成检测 —
通过薄膜fp法,可以同时定量分析多层膜的厚度和成分组成。
以下为镀层膜厚4.8µm,主要成分为ni、p以及检测出微量的pb的构成定量示例。
薄膜fp法定量分析结果
用薄膜fp法设定基板等基材、膜的层叠顺序、元素信息。
— 异型镀层样品的膜厚测定 —
edx可通过使用薄膜fp法，在无标准板的情况下测定镀层膜厚。但是，样品表面不平坦的情况下，采用薄膜fp法 可能会产生较大的误差。 如果使用背景fp法（参考p10），则可对像螺丝轴部那样的异型样品进行膜厚测定，误差很小。下图是镀锌螺丝的膜厚测定案例。
样品调整法
固体样品
金属样品的预处理
希望提高定量分析的精度、去除样品表面的污染和氧化影响时，可以使用车床、旋转研磨机切削、研磨金属样品。
液体样品
粉末样品
样品的粉碎
颗粒度大或者有粒度效应（不均一效果） 影响的样品，需要进行粉碎。
玻璃熔融法
为了对岩石等氧化物粉末进行准确度高的分析,可将样品与li2b407等熔融剂共同进行玻璃熔融化。