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缩短观察时间  高通量扫描
通过新开发的可快速响应的ht扫描器以及软件与控制系统设计的优化，成功实现以传统设备5倍以上的速度（与本公司相比）获取图像数据。

扫描器可简单更换，因而可使用传统扫描器。另外，可通过在原spm-9700上追加ht扫描器，实现设备的高效率分析。

分析案例

• 金属蒸镀膜的表面粗糙度分析

以1hz和5hz的扫描速度对金属蒸镀膜的表面形貌进行观察。画质及表面粗糙度的分析结果相同。

• 光栅沟槽形状检测

以1hz和5hz的扫描速度对光栅的表面形貌进行观察。经过断面形状分析，沟槽形状检测结果均相同。