高分解能分光器、安定性に実績のある真空分光器、受光部集光系など最先端の光学設計により、高精度で安定した測定を実現。 りん(p)や硫黄(s)も分光干渉の影響を避け、正確に分析。
消費される放電エネルギーを監視するリアルタイムエネルギーモニタリング機能*を搭載。 試料表面の疵やピンホールによる不良データを無効化し、データ精度の向上。消費電力も大幅削減。
*特許出願中
分光器真空度や発光電源など装置の状況を細部までリアルモニタ、メンテナンス時の作業手順指示などわかりやすいインタフェースで、装置の制御・管理を徹底サポート。