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电子探针显微分析仪(electron probe microanalyzer)

优越的空间分辨率

使用分析条件束流，引以为傲no.1的二次电子图像分辨率。（加速电压10kv时，20nm@10na//50nm@100na/150nm@1μa）。与原来的电子枪（ceb6、钨灯丝）的结果相比，一目了然。

由于可用更大的束流得到与原来电子枪相同分辨率的图像，所以可进行更高灵敏度的x射线分析。 更加值得注意的是，束流为1μa时的sem图像。能够得到1μa以上束流，而且可以压缩到如此细的岛津产品只有epma-8050g。

各种电子枪产生电子束的特性比较（加速电压10kv）