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电子探针显微分析仪(electron probe microanalyzer)

至多可同时搭载5通道高性能4英寸x射线谱仪

x射线取出角决定分析性能，52.5°更胜一筹

对x射线的吸收越少，灵敏度越高。

高x射线取出角，可降低吸收带来的影响，可以对深孔底部、孔中异物进行分析。

对深孔中异物的分析实例。左下为铁（fe）的分布，右下为钛（ti）的分布。通过epma-8050g的高取出角，即使是表面明显凹凸不同的样品，也可进行高精度分析。

分光晶体采用全聚焦约翰逊型晶体。

秉承岛津研发经验的晶体加工制备工艺，保证提供高灵敏度·高分辨率兼备的分光晶体。johanson(约翰逊)型分光晶体是全聚焦晶体，无像差。

至多可同时搭载5通道兼顾高灵敏度、高分辨率的4英寸谱仪。

x射线谱仪罗兰圆直径是影响epma分析性能至关重要的因素之一。罗兰圆半径每增加1英寸，检出灵敏度下降30%以上。岛津epma至多同时搭载5通道覆盖全部分光范围的4英寸谱仪。

各分光晶体可分析元素以及推荐谱仪组合实例。

应对谱仪的多通道安装，我们配备有多种分光元件，可根据分析目的选择适合的分光元件。岛津epma在设计上无需更换物镜光阑，就可发挥出色性能。x射线谱仪也贯彻这种理念，分析时无需选择罗兰圆直径、切换狭缝，就可兼顾出色的灵敏度与极高的分辨率。

	定性分析	定量分析	面/线分析	状态分析
兼顾灵敏度与分辨率的 x射线谱仪（岛津epma）	○	○	○	○
兼顾灵敏度与分辨率的 x射线谱仪（岛津epma）	※所有的分析模式都可实现出色分析条件的只有兼顾灵敏度和分辨率的岛津x射线谱仪。
重视灵敏度的 x射线谱仪	△ 峰容易重叠，造成误判。	○	○	× 难以捕捉波形变化。
重视分辨率的 x射线谱仪	△	× 峰强度重现性差。	× 容易受到样品表面影响，随着时间的增加，越来越难以得到稳定的峰强度。	△ 细微峰的检测困难。