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电子探针显微分析仪(electron probe microanalyzer)

大束流更高灵敏度分析

场发射类型的sem、epma可实现其他仪器所不能达到的大束流（加速电压30kv时可达3μa）。在超微量元素的检测灵敏度上实现了质的飞跃，将元素面分析时超微量元素成分分布的可视化成为现实。而且，所有束流范围内不需要更换物镜光阑，完全不用担心合轴，实现了高度自动化分析。

面的3个图像为不同束流下，对不锈钢中约1%左右si进行面分析的结果※。束流越大，偏差越小，越能更加清楚的确认包含si的范围。

※ 分析条件：加速电压10kv，积分时间50msec。分析花费时间约1小时。