衍射效率
衍射效率所得到的衍射光相对于入射光能量的比值。通常，有两种表达衍射效率的方法，绝对衍射效率和相对衍射效率。 绝对衍射效率是相对入射光强度的某一阶次的衍射光强度比，相对衍射效率是指绝对衍射效率除以镀膜涂层材质的反射率的比值。在本公司，衍射效率采用的是相对衍射效率。岛津样本中所记述的衍射效率是指相对衍射效率，平面衍射光栅的标定为λb (litt)，凹面衍射光栅标定为λb。
不同偏振光下的衍射效率
由于衍射光栅是在一个方向刻线加工，所以入射光的偏振状态可能会对衍射效率有较大差异影响。
光栅刻线方向与电场向量的振动方向垂直s偏振(tm波)中，衍射效率出现了较大的变化，在长波长范围内显示出非常高的衍射效率。
光栅的刻线方向与电场向量的振动方向平行的p偏振光(te波)，没有出现像s偏振光那样大的变化，可以看到以闪耀波长为峰值的平滑的衍射效率曲线。
图7 采用的是littrow配置，显示出的偏振衍射效率的计算值。横轴是波长λ和刻线间隔d的比，即λ/d。当闪耀角(正弦波光栅的刻线深度)增大时，标量理论就不成立，衍射效率会受不同偏振光的影响，出现较大差异值。
图 7 不同偏振光下的衍射效率