平面衍射光栅
平面闪耀全息光栅
平面全息光栅(hg:holographic grating),是利用两束激光形成干涉,通过全息曝光法制造出来的光栅。因此,与机械刻线光栅相比,可以获得由于周期误差导致的杂光极少的光栅。
低杂散光衍射光栅
低杂散光衍射光栅[lo-ray-ligh]在衍射光栅的生产过程中,以过去岛津拥有的全息技术为基础,新开发出自有的工艺,并通过蚀刻工程最优化,成功地制造出高效率且杂散光极低的衍射光栅。
凹面・环形曲面衍射光栅
环形曲面衍射光栅
环形曲面衍射光栅是在岛津环形曲面镜「tr系列」的加工技术和低杂散光衍射光栅[lo-ray-ligh]的制造技术之上而开发出来的,与原来的像差校正型凹面衍射光栅相比,可更好地校正非点像差。
真空紫外·软x线领域层状衍射光栅
真空紫外·软x线领域层状衍射光栅
岛津采用离子刻蚀技术及全息曝光的工艺方法,加工出可适用于真空紫外及软x线领域使用的层状式衍射光栅。此款光栅刻线的截面形状如上图所示,是矩形形状,是在合成石英的基底上直接刻线加工而成,特别适合斜入射光源的要求。